?  真空環境：真空探針臺能夠在低真空或高真空環境中進行測試、避免了空氣對實驗結果的影響、提高了測試的準確性和可靠性

?  溫控系統：配備有先進的溫控系統、能夠實現對樣品的精確控溫，滿足各種溫度條件下的測試需求。例如、真空超高溫1000度探針臺可以在高達1000度的高溫環境下穩定工作，適用于材料表面的物理和化學性質研究

?  外部可移動探針臂：采用外部可移動探針臂設計，能夠實現對樣品表面任意位置的精準點針，方便科研工作者進行局部或整體電學性能的測試

?  集成顯微鏡和光譜系統：可以集成顯微鏡、光譜系統等先進表征手段、對薄膜材料的微觀結構和化學成分進行實時觀察和分析、提供全面的材

?  高精度和可重復使用：采用高精度的金屬針頭、測試結果非常穩定可靠、適用于多次重復測試

?  應用廣泛：適用于半導體、微電子、材料科學等領域，特別是在薄膜材料的電學性能測試中表現出色

◆ ?樣品臺：鍍金樣品臺(三同軸、同軸、接地)

◆ ?樣品臺尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

◆ ?顯微鏡：最小分辨率2微米/4微米

◆ ?探針臂：最多可安裝6個探針臂

◆ ?位移臺行程：X方向行程：50mm,移動分辨率3Hm;Y、Z方向行程：25mm,移動分辨率5Hm

◆ ?探針配置：DC探針、射頻探針、光纖探針可選

◆ ?真空系統：機械泵或分子泵

◆ ?真空度：5×10-3Pa(室溫)

◆ ?溫度范圍：室溫-200℃ ?室溫-600℃可選

◆ ?溫控精度：±0.5℃

◆ ?減震桌：固有頻率：1.2-2Hz,隔振方式：雙腔室空氣彈簧，隔振來源：阻尼孔水平維持方式，高精度閥門自動維持水平

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